第86章 光刻机横空出世！（1/2）

陈凡则回到办公室，锁上门，唤出小智。

“小智，调取所有关於euv光刻机的公开技术资料、结构图、核心难点，以及目前国际上最先进型號的性能参数。”

“主人，此任务涉及极高复杂度。euv光刻机涉及超精密光学、超高真空、极紫外光源、纳米级控制等数十个尖端领域。”小智冷静地分析，“所需知识灌注量……极大。”

“知识灌注不是问题。”陈凡眼神坚定，“立刻开始整理推演，我需要最短时间內掌握所有关键点。另外，寻找国內可能拥有待报废旧光刻机的目標。”

“是，主人。”小智的运算核心全速运转。

接下来的两天，陈凡几乎不眠不休。在小智的帮助下，林浩动用了一切人脉和渠道，终於在北方某家濒临倒闭的老牌电子研究所的仓库角落里，找到了一台尘封近二十年、早已停用报废的早期步进式光刻机，型號古老，性能落后当代主流数代。因为淘汰了和废铁差不多，林浩几乎是按照废铁的价格收了，连夜秘密將其放在另一块空间玉佩中运回了魔都，送入磐石基础地下实验室。

而陈凡，则再次戴上了“神启”头盔。这一次，海量艰深晦涩的光学工程、雷射物理、精密机械、控制理论等知识汹涌而入，几乎撑爆他的大脑。汗水浸透衣衫，太阳穴突突直跳，但他咬牙坚持，將所有知识塞入大脑。

当那台布满灰尘和锈跡的光刻机，被放置在实验室中央时，陈凡的脸色苍白如纸，但眼中却燃烧著两簇骇人的火焰。

他走到机器旁，手掌轻轻按在那冰冷粗糙、充满岁月痕跡的金属外壳上。

脑海中，小智推演出的、融合了现有技术理论与增幅可能性的“超高性能混合式光刻机”完整设计图，以及刚刚强行灌注的庞大知识库，清晰浮现。

“增幅……”陈凡闭上眼，精神力如同最精细的手术刀和熔炉，探入这台陈旧机械的每一个角落，“目標：物质重组与概念跃迁！以现有框架为基础，突破原理限制！赋予其稳定高效的极紫外光源生成与收集系统、达到原子级精度的双工件台与量测系统、適应多种工艺节点的智能调控核心……性能目標：在关键指標上，追平国际主流euv光刻机第一代水平！”

这是他迄今为止，尝试增幅的最复杂、科技含量最高的物品。精神力的消耗如同开闸泄洪，瞬间抽空了他的体力，眼前阵阵发黑，鼻孔甚至渗出了一丝鲜血。但他凭藉著一股狠劲和顽强的意志，死死支撑著！

实验室里寂静无声，只有陈凡粗重如风箱般的喘息。那台老旧光刻机表面，开始流淌过仿佛水银般的光泽，內部传来极其细微的、仿佛精密钟錶开始运转的“咔噠”声和低鸣。

足足四个小时过去。

当陈凡几乎虚脱，靠著机器才能站稳时，眼前的景象让他疲惫的双眼陡然睁大。

那台笨重陈旧的老古董消失了。取而代之的，是一台流线型、充满未来科技感的银白色设备。它体积比原来缩小了近三分之一，结构紧凑优雅，表面光滑如镜，各种传感探头和观察窗井然有序。虽然没有標誌，但那股精密、高级、蕴含著强大能量的气息，扑面而来。

陈凡强撑著，按照脑海中的知识，启动了初步自检程序。

设备內部传来低沉平稳的运行声，几处指示灯亮起柔和的绿光。连接的外部检测终端上，开始滚动瀑布般的数据。

光源波长：13.5纳米（极紫外波段）——稳定！