第108章 光刻机（2/2）

3月5日，元件五厂的小会议室里烟雾繚绕。二十多名工程师挤在狭小的空间里，有人甚至坐在窗台上，膝盖上摊开著笔记本。陈樾在黑板上画著复杂的光路图，粉笔灰落在他的黑皮鞋上，积了薄薄一层。汗水浸透了中山装的后背，在暖气不足的房间里冒著淡淡的白气。

“毛熊的光刻机用的是汞灯光源，鹰酱这台是雷射的...“陈樾边说边擦汗，袖口已经沾满了粉笔灰。角落里，两个老工程师为了一个光学参数爭得面红耳赤，茶杯都被碰翻了，褐色的茶渍在图纸上晕开，像一幅抽象的水墨画。

会议一直开到深夜，食堂送来的肉包子已经凉了，表皮变得硬邦邦的。但没人离开，有个戴眼镜的女技术员甚至趴在图纸上睡著了，手里还攥著半块没吃完的馒头，眼镜歪在一边，镜片上沾著指纹。

5月15日凌晨，第一台国產光刻机终於组装完成。实验室里挤满了人，有个身材瘦小的技术员不得不站在工具箱上才能看清操作台。当电源接通的那一刻，氙灯光源发出的刺眼蓝光透过复杂的光学系统，在暗室里划出一道锐利的光路，照亮了每个人紧张而期待的面庞。

“雷射干涉仪校准完成！“负责测量的工程师老张盯著读数显微镜，声音有些发颤。他额头上的汗珠在冷光源照射下闪闪发亮，握著调节旋钮的手指关节因用力而发白。

陈樾俯身在测量显微镜前，看到硅片上的线条边缘像刀切般整齐。他轻轻旋转微调旋钮，十字准线对准刻线边缘，读数鼓轮显示出的数值让他的手微微一抖——10微米。这个数字正好是他们设计指標的极限值，意味著这台机器已经达到了世界先进水平。

“重复测量三次，误差不超过0.2微米。“检测组长大声报告，手里的记录本哗啦作响。他的白大褂袖口沾著显影液，已经洗得发黄了，胸前的口袋里插著三支不同顏色的铅笔。

王师傅挤到前面，用粗糙的手指小心翼翼地捏起那片硅片，对著灯光观察。晶圆上的电路图案像蛛网般精密，阳光透过时在地上投下细密的影子网格，宛如未来科技的蓝图。

“成了！“他突然大喊一声，声音震得天板上的灰尘簌簌落下。这个平常沉默寡言的老工人一把抱住身边的年轻技术员，后者眼镜都被撞歪了，却也跟著又哭又笑。有人从柜子里拿出珍藏的茅台，倒进搪瓷缸里，大家轮流啜饮，每个人的眼睛里都闪著泪光。

5月16日，河北半导体研究所连夜送来的高纯度硅晶片在阳光下闪著淡蓝色的金属光泽。陈樾亲自操作新光刻机，製作出的3ag95电晶体比原来的小了整整一圈，像一颗精致的艺术品。

“体积缩小40%，性能提升30%，功耗降低75%。“检测员的声音有些发抖。他的白大褂口袋里插著支英雄牌钢笔，笔帽上的金色校徽已经模糊不清，笔尖还沾著新鲜的墨水。

陈樾举起那片小小的晶圆，透过灯光能看到上面密密麻麻的电路图案，像一座微缩的未来城市。窗外，一群鸽子飞过，翅膀拍打的声音像是远方的掌声，为这项来之不易的成就喝彩。

5月20日，荒废多年的老工具机厂掛上了崭新的牌子。工人们正在清理院子里的杂草和碎石，有个年轻小伙子不小心惊动了一窝麻雀，扑稜稜地飞向蓝天。陈樾站在大门口，看著工人们把“上沪光刻设备厂“的铜牌掛正。朝阳照在崭新的厂牌上，“光刻“二字反射出耀眼的光芒，仿佛预示著夏国半导体工业的光明未来。

“陈总，咱们给第一台机器起个名吧？“周厂长提议道，手里拿著瓶刚从供销社买来的橘子汽水，玻璃瓶壁上凝著冰凉的水珠，在阳光下闪闪发光。

陈樾望著厂房外刚栽下的小树苗，嫩绿的叶子在春风中轻轻摇曳，轻声道：“就叫'曙光一號'吧。“

一阵温暖的春风吹过，小树苗的枝叶沙沙作响。远处传来火车的汽笛声，像是新时代的號角，宣告著夏国科技事业即將迎来崭新的黎明。